רכיבי טונגסטן Heavy Alloy (WHA) להשתלת יונים
בדרך כלל, טונגסטן ומוליבדן הם חומרים חיוניים עבור רכיבים המשמשים במערכות השתלת יונים, במיוחד בתוך נתיב האלומה. חומרים אלו נבחרים בשל יכולתם לעמוד בתנאים הקשים של השתלת יונים, לרבות טמפרטורות גבוהות, שדות מגנטיים חזקים וגזי תהליך אגרסיביים.
למה טונגסטן ומוליבדן?
נקודות התכה גבוהות:
גם לטונגסטן וגם למוליבדן יש נקודות התכה גבוהות מאוד, מה שמאפשר להם לסבול את הטמפרטורות הקיצוניות שנוצרות במהלך השתלת יונים.
עמידות בפני קורוזיה:
הם מציגים עמידות מצוינת בפני קורוזיה, שהיא חיונית כאשר הם נחשפים לגזים תגובתיים ותוצרי לוואי של תהליך השתלת יונים.
חוזק גבוה ומוליכות תרמית:
מאפיינים אלו חיוניים לשמירה על השלמות המבנית של הרכיבים ולפיזור יעיל של חום במהלך הפעולה.
טוהר גבוה:
חומרים בטוהר גבוה ממזערים את הזיהום של קרן היונים והחומר המושתל.
רכיבי השתלת יונים אופייניים עשויים טונגסטן ומוליבדן:
לשכות:
תאי הוואקום המאכסנים את מקור היונים ואזור המטרה עשויים לרוב מטונגסטן, מוליבדן או סגסוגות שלהם.
חוטים:
במקורות יונים משתמשים בחוטים העשויים מטונגסטן או מסגסוגות טונגסטן לייצור הפלזמה ממנה מופקים יונים.
חריצי קשת:
רכיבים אלו עוזרים לעצב ולכוון את קרן היונים, ולעיתים מיוצרים מטונגסטן או מוליבדן.
מחזיקים וקתודות:
מחזיקים וקתודות שונות בתוך מקור היונים ונתיב האלומה מיוצרים ממתכות עקשן אלו.
חֲלָפִים:
רכיבי טונגסטן ומוליבדן משמשים גם עבור חלקי חילוף והחלפות שונים בתוך המשתיל.
רכיבי קו קרן:
רכיבים בתוך קו הקרן, כגון מגבילי אלומה ופתחים, עשויים להיות עשויים גם מטונגסטן או מוליבדן.
דוגמאות לחברות המספקות רכיבי השתלת יונים:
עם זאת, סגסוגות כבדות של טונגסטן (WHA), במיוחד קומפוזיציות W-Ni-Fe ו-W-Ni-Cu, נמצאות בשימוש נרחב במערכות השתלת יונים בשל הצפיפות יוצאת הדופן, תכונות מיגון הקרינה והיציבות התרמית שלהן. סגסוגות אלו אידיאליות לרכיבים הדורשים מסה גבוהה, עמידות ועמידות בפני הפצצת יונים.
מאפיינים מרכזיים ליישומי השתלת יונים
✔ צפיפות גבוהה (17-18.5 גרם/ס"מ³) - יעיל לחסימת פיזור יונים ושיפור בקרת האלומה.
✔ מיגון קרינה מעולה - ממזער את פליטת-רנטגן ואלקטרונים משניים.
✔ נקודת התכה גבוהה ויציבות תרמית - עמיד בפני הפצצת יונים-באנרגיה גבוהה ללא עיוות.
✔ יכולת עיבוד טובה - ניתן לעיבוד מדויק-לצורות מורכבות (בהשוואה לטונגסטן טהור).
✔ יציאת גז נמוכה - קריטי לשמירה על תנאי ואקום גבוהים במשתלי יונים.
רכיבי WHA נפוצים בהשתלת יונים
מעצורי אלומה ופתחים - שולט ומעצב קרני יונים.
כוסות Faraday - מודד את זרם אלומת היונים בצורה מדויקת.
בלוקים וקולימטורים מיגונים - מפחית פיזור יונים לא רצויים.
רכיבי טיפול בוואפר - חלקים עמידים לעיבוד מוליכים למחצה.
רכיבי בידוד - חוזק דיאלקטרי גבוה במידת הצורך.
למה לבחור WHA על פני טונגסטן טהור?
יכולת עיבוד טובה יותר (עקב שלב קלסר Ni/Fe/Cu).
קשיחות שבר גבוהה יותר (פחות שביר מ-W טהור).
חסכוני-עבור גיאומטריות מורכבות.
ציונים זמינים והתאמה אישית
דרגות סטנדרטיות: W90NiFe, W93NiFe, W95NiFe, W97NiFe
קומפוזיציות ומידות מותאמות אישית (מוטות, צלחות, חלקים מעובדים)
גימורי פני השטח: מלוטשים, טחונים או מצופים לביצועים משופרים.
אם יש לך שאלות אפשריות, צור איתנו קשר: info@yitechtrading.com