מטרות מסגסוגת ניקל- הן מטרות מקרטעות שנוצרו על ידי המסת ניקל (Ni) וניוביום (Nb) כיסודות העיקריים בפרופורציה מסוימת. הם משמשים בעיקר בתהליכי שקיעת אדים פיזית (PVD), במיוחד בקיעת מגנטרון, להכנת סרטים דקים פונקציונליים על מצעים שונים.
שיטת הכנה למטרות סגסוגת ניקל-
1. הכנת חומרי גלם: בחר באבקות ניקל וניוביום בטוהר- גבוה כחומרי גלם, וודא שהטוהר שלהן עומד בדרישות הכנת היעד. לדוגמה, הטוהר של אבקות ניקל וניוביום יכול להגיע כל אחת ליותר מ-99.9%.
2. ערבוב אבקה: שקלו במדויק את אבקות הניקל והניוביום לפי יחס הרכב הסגסוגת המעוצב וערבבו אותם היטב במכשיר ערבוב. כדי להבטיח ערבוב אחיד, ניתן להשתמש בטחינה כדורית, תוך שליטה בזמן הטחינה המתאים וביחס הכדור-ל-חומר.
3. כבישה: את האבקות המעורבבות באופן אחיד מניחים בתבנית ולוחצים באמצעות לחיצה איזוסטטית קרה (CIP) או לחיצה איזוסטטית חמה (HIP) לייצור ריק מטרה בצפיפות וחוזק מסוימים. לחיצה איזוסטטית קרה (CIP) מאפשרת דחיסה ראשונית של אבקה בלחץ נמוך יחסית, בעוד HIP מגדילה עוד יותר את הצפיפות של ריק המטרה בטמפרטורה גבוהה ובלחץ גבוה.
4. סינרינג: ריק היעד הדחוס מסונט בכבשן ואקום כדי לסלק נקבוביות בין חלקיקי האבקה ולשפר את הצפיפות והביצועים של המטרה. טמפרטורת הסינטרינג והזמן הם פרמטרים מרכזיים. טמפרטורות הסינטר נעות בדרך כלל בין 1000 מעלות ל-1500 מעלות, וזמני הסינטר נעים בין כמה שעות לכמה עשרות שעות. אופטימיזציה תלויה בהרכב היעד ובגודלו.
5. עיבוד שבבי: לאחר הסינטר, המטרה דורשת עיבוד שבבי, כגון חריטה וטחינה, כדי להגיע למידות הרצויות ולגימור פני השטח.
יישומים של יעדי סגסוגת ניקל-
מוליכים למחצה: ניתן להשתמש בהם לקרטוט ליצירת שכבות מחסום, אלקטרודות וחיבורים. סרטים דקים מסגסוגת ניקל-ניקל מונעים ביעילות דיפוזיה של אטומי מתכת, משפרים את הביצועים והאמינות של התקני מוליכים למחצה, והם חיוניים לייצור מעגלים משולבים.
טכנולוגיית תצוגה: בצגי -פאנל שטוחים כמו OLED ותצוגות גביש נוזלי, ניתן להשתמש ביעדי סגסוגת ניקל-ליצירת אלקטרודות או שכבות רפלקטיביות, המסייעות בשיפור בהירות המסך, מהירות התגובה ויציבות הצבע.
ציפוי אופטי: ניתן להשתמש בהם ליצירת ציפויים אופטיים שונים, כגון סרטים מחזירי אור אינפרא אדום וסרטים עמידים-לנזקי לייזר, עבור יישומים במכשירים אופטיים מדויקים, מערכות לייזר ומכשור אופטי כדי לעמוד בדרישות ביצועים אופטיים מגוונים.
ציפוי-עמיד בפני שחיקה ועמיד בפני קורוזיה-: בשל ההתנגדות המצוינת שלהם לבלאי ולקורוזיה, ניתן להשתמש ביעדי סגסוגת ניקל-ליצירת סרטים דקים- ועמידים בפני קורוזיה-על חלקים מכניים ומשטחי כלי, משפרים את חיי הרכיבים וביצועים. יש להם סיכויי יישום רחבים בתעשיות כמו תעופה וחלל, ייצור רכב ועיבוד שבבי.
